삼성전자는 7일 반도체 사업 부문 공식 블로그에서 불화수소를 "반도체 공정에서 없어서는 안 될 재료, 최근 수입 이슈로 그 중요성을 다시 한 번 확인했던 것"으로 소개하며, 불화수소의 특성과 반도체 공정에서의 역할을 설명했다.
불화수소는 '수소(H)'와 흔히 불소라는 이름으로 알려진 '플루오린(F)'이 결합한 화합물이다. 상온(25℃)에서 기체로 존재한다. 저온이나 고압에선 액화하고 물에 잘 녹는다.
불화수소를 필수로 사용하는 분야는 반도체 '식각 공정'과 '세정 공정'이다. 불화수소는 식각 공정에선 목판화의 '조각도'처럼 웨이퍼의 불필요한 부분을 긁어내고, 세정 공정에선 회로의 잔류물을 씻어내기 위한 '세정액' 역할을 한다.
삼성전자는 "반도체의 성능을 책임지는 불화수소, 수입에만 의존하던 불화수소의 국산화가 최근 진행되고 있다"며 "반도체 기술과 더불어 반도체 공정에 사용되고 있는 재료들도 함께 발전해나가고 있다는 것을 기억하면 좋겠다"고 덧붙였다.
일본은 1년 전 한국 대상 수출 품목 가운데 반도체 제조 공정 필수 소재인 불화수소, 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드, 3종을 별도 수출 허가가 필요한 규제 대상으로 지정했다. 이로 인해 당시 우리 반도체 기업들이 공급망 리스크를 겪었고 이후 정부 지원을 통한 국산화, 공급망 다변화 전략이 추진되고 있다.
KPI뉴스 / 임민철 기자 imc@kpinews.kr
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