2023년까지 70% 국산화 목표…15톤규모 생산시설 건설
포토레지스트 분야, 실리콘카바이드 웨이퍼 국산화 추진

반도체 소재 생산업체 SK머티리얼즈가 일본 수출규제 품목인 초고순도 불화수소 가스 국산화에 성공했다.

17일 SK그룹은 SK머티리얼즈가 순도 99.999%의 불화수소 가스 양산을 시작했으며 오는 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올릴 계획이라고 밝혔다.

초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조 공정 중 세정용으로 쓰는 소재다. 반도체 공정 미세화로 그 수요가 증가 추세지만, 이제껏 전량 해외 수입해 썼다. SK머티리얼즈는 작년말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발 성공 후 경북 영주 공장 내 15톤 규모 생산시설 건설 등 국산화를 추진해 왔다.

SK머티리얼즈는 불화수소와 함께 반도체 웨이퍼에 초미세 회로 패턴을 새길 때 쓰는 고부가 포토레지스트(감광액) 분야 국산화 작업을 본격화했다. 포토레지스트 보조재로 패턴이 무너지지 않게 보호해 주는 하드마스크(SOC)와, 포토레지스트의 일종인 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 개발한다.

불화아르곤 포토레지스트도 해외 의존도 90%인 소재다. SK머티리얼즈는 내년 생산시설을 준공하고 오는 2022년부터 연 5만갤런 규모 포토레지스트를 생산할 계획이다.

반도체 웨이퍼 소재 업체 SK실트론도 작년 미국 듀폰사로부터 차세대 전기차 필수 소재인 차세대 전력 반도체용 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 사업을 인수했다. 미국과 유럽 소수 업체가 과점하고 있는 글로벌 실리콘카바이드 웨이퍼 시장에서도 소재 국산화에 나설 전망이다.

SK그룹은 이런 소재 국산화 과정에 확보한 역량을 중소기업 상행협력으로 연결해 국내 반도체 생태계 강화에 기여하겠다고 밝혔다. 반도체 제조사 SK하이닉스는 4000억 원 규모 상생펀드를 조성해 협력사에 저금리 융자를 제공하고 있다.

KPI뉴스 / 임민철 기자 imc@kpinews.kr

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