반도체소재업체 JSR마이크로코리아, 오창에 공장 신설

박상준

psj@kpinews.kr | 2024-08-29 15:00:03

2026년까지 반도체용 EUV 포토레지스트 공장 투자

일본계 반도체소재업체인 JSR마이크로코리아가 청주 오창 외국인투자지역에 반도체용 포토레지스트 생산공장을 신설한다.

▲JSR마이크로코리아 오창 본사 전경.[KPI뉴스 자료사진]

충청북도는 29일 도청에서 충청북도, 청주시, 외국인투자기업인 JSR마이크로코리아와 오창 외국인투자지역 내 2000㎡ 부지에 2024년부터 2026년까지 3년간 반도체용 EUV(극자외선) 포토레지스트 생산공장 신설에 관한 투자협약을 맺었다.

이번 투자협약은 지난 4월 충북도 투자유치대표단이 일본 JSR 본사를 방문, 단장인 김명규 경제부지사가 Eric CEO 겸 사장에게 직접 투자를 요청한 결과이다.

JSR마이크로코리아가 투자하는 EUV용 포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 형성하도록 도포하는 화학물질로, 반도체 핵심소재 품목 중 하나이다.

특히 EUV용 무기포토레지스트인 MOR(Metal oxide resist)는 기존 유기물 대비 빛 흡수율이 높은 초미세 반도체 공정의 차세대 핵심 기술로, 충북의 반도체 산업 공급망 안정화에 기여할 것으로 평가받는다.

JSR마이크로코리아는 세계적인 반도체 소재 제조사인 일본 JSR주식회사의 기술과 자본이 투입돼 설립된 100% 외국인 투자기업이다.

JSR주식회사는 1957년에 설립된 회사로 반도체 및 디스플레이 재료, 합성수지, 의약소재 등을 개발·제조하고 있으며, 특히 반도체 소재로서 ArF 포토레지스트, 다층재료, 도금용 후막 포토레지스트, 디스플레이 재료로서 배향막, 절연막 분야에서는 세계 시장 최고 수준의 점유율을 기록하고 있다.

JSR마이크로코리아는 2003년 충북 청주시 오창에 설립되어 평판 디스플레이용 소재 생산에서 축적된 기술력을 바탕으로 성장해 왔다. 이번 추가 투자를 통해 주요 고객사인 SK하이닉스와 삼성전자 등에 고품질, 고성능 반도체용 포토레지스트를 안정적으로 공급할 계획이다.

김영환 충북지사는 "우수한 반도체 기업들이 밀집한 충북은 우리나라 반도체 산업의 중심지로, 이번 투자협약이 반도체 분야에서 충북의 위상을 확고히 하고 JSR마이크로코리아가 세계적인 반도체용 포토레지스트 제조기업으로 성장하는 발판이 되길 기대한다"고 말했다.

KPI뉴스 / 박상준 기자 psj@kpinews.kr

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