첨단 식각 및 증착 기술 개발 연구

세계 3대 반도체 장비 기업인 '램리서치'의 한국 연구개발(R&D)센터가 용인 지곡일반산업단지에 문을 열었다.

26일 경기도와 용인시에 따르면 램리서치는 이날 오전 용인 지곡일반산업단지에서 이한규 경기도 행정2부지사와 팀 아처(Tim Archer) 램리서치 대표이사, 박진규 산업통상자원부 제1차관, 백군기 용인시장, 기업인 등 30여 명이 참석한 가운데 '램리서치 코리아테크놀로지 센터' 개소식을 가졌다.

램리서치 코리아테크놀로지센터는 약 3만㎡ 규모로, 반도체 제작에 필요한 첨단 증착 및 식각 기술을 연구 개발한다.

경기도와 용인시는 2019년 램리서치와 투자유치 업무협약을 체결한 후 전담팀을 구성하고 연구개발(R&D)센터 입지 선정과 인허가 지원 등 램리서치 코리아테크놀로지센터 설립을 지원했다. 램리서치는 준공에 행정적 지원을 아끼지 않은 경기도와 용인시에 감사패를 전달했다.

램리서치 코리아테크놀로지는 최첨단 클린룸을 보유하는 데 중점을 둬 건립됐다. 반도체 장비 및 솔루션 신규 공정 개발과 제품·제조 및 기술 테스트 등이 이뤄진다. 램리서치 코리아는 지곡일반산업단지 내 3만여㎡ 부지에 판교에 있는 본사 이전도 검토중인 것으로 알려졌다.

용인시는 램리서치 코리아테크놀로지 센터가 국내 핵심 반도체 기업의 생산 거점과 지리적으로 가까워 차세대 반도체 기술 개발에 큰 시너지를 낼 것으로 기대하고 있다.

팀 아처 램리서치 CEO는 "램리서치 코리아테크놀로지 센터 개관은 램리서치 글로벌 R&D 네트워크의 강력한 확장"이라며 "고객사와 보다 긴밀한 기술 파트너십을 가능하게 함으로써 차세대 반도체 솔루션을 더욱 빠르게 개발할 수 있도록 역량을 높일 것"이라고 말했다.

백군기 용인시장은 "램리서치가 삼성전자, SK하이닉스와 함께 용인의 앵커기업으로 활약하며 K-반도체벨트 성장의 주요 동력이 될 것"이라며 "시가 글로벌 반도체 도시로 나아가는 촉매제 역할을 해줄 것으로 기대한다"고 말했다.

이한규 경기도 행정2부지사는 "램리서치 코리아테크놀로지센터가 국내 중소기업과 상생협력하여 장비 국산화를 촉진하고, 한국 반도체산업 생태계를 강화하려는 경기도의 노력에 큰 힘이 되리라 믿는다"고 말했다.

KPI뉴스 / 유진상 기자 yjs@kpinews.kr

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