일본 정부가 지난 5일 삼성전자 중국 반도체 공장으로의 불화수소 수출을 허가한 것으로 8일 알려졌다.

중국으로의 불화수소 수출은 애초부터 개별허가로 규제돼 왔지만, 이 소식이 전해지면서 해외공장도 일본 수출규제의 간접적인 영향권에 포함될지 모른다는 우려는 일부 불식된 것으로 보인다.

반도체 업계 관계자는 "해외법인의 경우 이전부터 (국내와) 별개로 수입이 진행돼 왔다"고 설명했다.

이날 일부 언론 보도에 따르면 일본의 한 기업은 일본 정부로부터 삼성전자 중국 시안(西安) 공장에 불화수소를 수출할 수 있다는 허가를 획득했다. 이 기업은 지난 6월 중순 수출 신청을 한 후 이번에 승인을 받은 것으로 전해졌다.

삼성전자 시안공장은 중국 법인이지만, 일본 정부가 한국을 겨냥한 수출규제에 들어간 후 한국 기업을 대상으로 불화수소 수출을 허가한 건 처음이다.

일본 정부는 지난달 4일 반도체·디스플레이 소재 핵심 품목 3가지(불화수소, 플루오린폴리이미드, 포토레지스트)를 한국에 수출할 때 일본 기업이 기존의 일반포괄허가에서 개별허가를 받도록 전환했다.

중국에는 삼성전자와 SK하이닉스 등 한국 반도체 기업의 공장이 가동되고 있다. 삼성전자는 시안에서 낸드플래시를, SK하이닉스는 우시(無錫)에서 D램을 각각 생산하고 있다.